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氣體輸送柜 GC

產品特性:可實現電子級特殊氣體的持續不間斷安全供應。主要采用PLC控制,觸控屏為人機界面或數顯按鈕式操作界面。

主要特點:自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷。

適用場合:主要適用于IC、TFT、Solar、LED等工廠特氣的供氣需求。

適用氣體:易燃/自燃性、腐蝕性、毒性,如SIH4,NF3,NH3,N2O,HCL等。

氣源供應方式:Cylinder


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